EUV

Une définition du Jargon Français.

Image:Dr_enus.png sigle→ pluriel→.  [puce]. Extreme Ultra-Violet. Méthode de photolithographie utilisant des rayons ultra-violets extrêmes (d'une longueur d'onde inférieure à 180 nm) permettant de graver des semiconducteurs avec une finesse inférieure à 0.1 µ. Cousin à la longueur d'onde plus longue : les DUV.

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